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硅烷燃燒塔

發(fā)布時間:2022/3/29 11:36:31 瀏覽次數(shù):

我公司生產(chǎn)的TXRS型不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔是處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設(shè)備,主要用于處理太陽能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及PECVD化學氣相沉積工藝所產(chǎn)生的廢氣。


本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。在進氣方面采用壓縮空氣加新風進氣口雙進風形式,提高產(chǎn)品運行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面,采用循環(huán)水泵與自動補水相結(jié)合的方法,風機采用一用一備形式,這些工藝特點使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到極大保證。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置,即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作,同時配備了氮氣入口,更加大了設(shè)備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法,沉積下來的粉塵通過排渣口排出,這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經(jīng)權(quán)威部門實測,客戶單位硅烷(SiH4)去除率≥99.99%,氨氣(NHs)以及其它水溶性氣體的凈化率高達99.99%。


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